SIGMAKOKI西格玛支架组合面精度保证反射镜

SIGMAKOKI西格玛支架组合面精度保证反射镜

把面精度保证反射镜（HTFM）安装在运动反射镜支架上，在不对反射镜产生应力的条件下用胶粘接固定，而且是带调整机构的高反射率反射镜。

◦嵌入粘接反射镜后保证反射镜的面型精度。

◦反射镜支架有高稳定型（MHG-HS）和量产型（MHG-MP）两种类型。

◦这个产品可以使用在需要很高波面精度的光学系统或干涉仪中。

▶量产型（MHG-MP）具备调整螺栓的锁紧机构。

▶可以安装立柱（RO-＊＊-＊＊：另售）（WEB参照/カタログコードW6052），或台柱（PST-＊＊：另售）（WEB参照/カタログコードW6039）。

▶关于反射率的波长特性，请确认面型精度保证反射镜（HTFM）的特性曲线。

WEB参照/カタログコードW3002

▶「波长特性数据」（仅供参考，EXCEL档案格式）请参考【这里】。

注意

▶反射镜面在支架安装面前伸出2mm。

▶产品中不附有保证面型精度数据。需要保证面型精度数据文件时，需要额外文件制作费用。请至营业部门问询。

▶一旦取下粘接的反射镜，则不能保证反射镜的面型精度。

▶支架或反射镜受到强烈冲击后，反射镜的面型精度可能变坏。

▶量产型（MHG-MP）支架的转动中心在反射镜外侧（支架的支点）。

▶在平面上固定高稳定型（MHG-HS）反射镜支架时，请使用安装立柱平板（MHG-＊＊BPRO）。

▶使用安装立柱平板（MHG-＊＊BPRO）时，光轴将增高10mm。

镀膜多层电介质膜

表面质量10−5

适用波长248nm

反射率＞99.2％

支架型号MHG-MP30

质量0.12kg

主要材料铝合金

外径 φDφ30mm

调整范围分辨率摆动±3°

调整范围分辨率旋转±3°

入射角度45°±3°

表面处理黑色阳极氧化

分辨率摆动约0.39°/周

分辨率旋转约0.39°/周

有效直径外径的80%

反面光学抛光

可动轴数2轴

基板面型精度支架粘接后　λ/10

调整范围分辨率摆动±2°

调整范围分辨率旋转±2°

入射角度45°±3°

表面处理黑色阳极氧化

分辨率摆动约0.26°/周

分辨率旋转约0.26°/周

有效直径外径的80%

反面光学抛光

可动轴数2轴

基板面型精度支架粘接后　λ/10

SIGMAKOKI西格玛支架组合面精度保证反射镜